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高純電子氣體重大專項啟動

  近日,由中昊光明化工研究設計院有限公司等6家國內電子氣體從業單位共同承擔的國家重大專項高純電子氣體研發與產業化項目日前正式啟動。 
    該項目是《國家中長期科技發展規劃綱要》確定的16個國家科技重大專項之一——極大規模集成電路制造裝備及成套工藝課題的一部分,將重點開展8英寸以上IC制造用高純電子氣體關鍵共性技術研究,并實現產業化,為我國IC制造業提供高端電子氣體。該項目的實施將極大提升光明院電子氣體的研發與產業化能力。

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